產(chǎn)品參數(shù)/ Product parameter
產(chǎn)品實(shí)物圖片：
產(chǎn)品選型：
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- RC型水泥機(jī)構(gòu)
- 高穩(wěn)定度／高精確度，以確保機(jī)臺本身不受任何外界干擾
- 防震及充分安全的生產(chǎn)環(huán)境
- 最精確的生產(chǎn)制程使您及您的客戶無后顧之憂
- 安全生產(chǎn)以節(jié)省更多后續(xù)維修成本
產(chǎn)品優(yōu)點(diǎn)：在大部分的情況下此一標(biāo)準(zhǔn)不易達(dá)到。通常是一些雷射為主，行程較長、聚集點(diǎn)較小的設(shè)備才會要求此一振動環(huán)境
產(chǎn)品詳情：
- 機(jī)臺有嚴(yán)格的振動規(guī)范或設(shè)備安裝環(huán)境地點(diǎn)振動大于設(shè)備需求規(guī)范，采用主動式隔震設(shè)備達(dá)到最佳隔震
- 機(jī)臺有震動需求，沒有具體微震等級且機(jī)臺本身重量不重，以獨(dú)立腳支撐設(shè)備重量并與高架地板作隔離，減少外界對其影響
- 機(jī)臺有嚴(yán)苛的振動規(guī)范及剛性需求，采用高剛性RC結(jié)構(gòu)達(dá)到最佳隔震
- 工藝機(jī)臺設(shè)備本身對振動與剛性需求較高，采用高剛性RC結(jié)構(gòu)達(dá)到最佳個陣效果，RC結(jié)構(gòu)表面使用潔凈室許可的環(huán)氧樹脂進(jìn)行處理，光潔度滿足潔凈室標(biāo)準(zhǔn)，滿足設(shè)備的要求
特制復(fù)合混凝土原料：
- 專為高精準(zhǔn) EUV特制
- 高精細(xì)度
- 超高強(qiáng)度混凝土 (11000-15000 psi)制式
產(chǎn)品尺寸：無
產(chǎn)品技術(shù)參數(shù)：
| 最大位準(zhǔn)（u inch/seo） | 制程最小解析度（um） |
|---|
| 125 | 0.1 |
適合機(jī)臺：微振規(guī)范VC-E、F、G
運(yùn)用行業(yè)：應(yīng)用于抗震與剛性要求比較高的工藝機(jī)臺設(shè)備
